[밸리데이션]
- 설치적격성평가(준공상태)     : IQ (Installation Qualification) 
- 운전적격성평가(비운전상태) : OQ (Operational Qualification)
- 성능적격성평가(운전상태)     : PQ (Performance Qualification)

[모니터링]
- 클린룸모니터링 : Cleanroom Monitoring